1 | 高帧率1200万面阵相机 |
2 | 多光源组合,明暗场检测 |
3 | EFEM上料模组 |
4 | 精密高速移动平台 |
5 | 检测晶圆划伤,凹坑,凸起,脏污,崩边等 |
标刻案列:
1)凸起
2)划伤
3)脏污
4)凹坑
5)异物
设备型号 | WN800 | |||
检测系统 | 高速高帧率面阵相机;精密平台;同轴,低角度,多种光源组合 | |||
检测精度(um) | 2 | |||
产品定位精度(um) | 2 | |||
兼容产品尺寸 | 6寸,8寸,可定制12寸 | |||
上料方式 | 全自动上料,支持2个FOUP,可定制4个FOUP | |||
台面称重(kg) | 10 | |||
电源及气压 | AC 220V,5KW/0.5~0.8MPa | |||
外形尺寸 | 2000*2000*1900 | |||
设备重量 | 1500 | |||
软件(自主开发) | CVLD Pro V1.0 |