型号

                                                                                     UNP-CUT-300

加工平台

X轴

Y轴

Z轴

θ轴

行程（mm）

最大加工速度(mm/s)

行程（mm）

最小步进量(mm)

重复定位精度mm

行程（mm）

最小步进量(mm)

重复定位精度mm

最大旋转角度(deg)

重复定位精度（秒）

550

800

720

0.0001

±0.001

50

0.0001

0.002

380

±1.3

可加工尺寸

6/8/12英寸（可兼容裸片与钢环）

上料区

晶圆料盒数量

晶圆料盒数量

清洗涂覆

预对位

2

晶圆双臂机械手

水清洗及干燥、保护液涂覆

CCD、扫码枪

激光器

紫外半导体泵浦短脉冲激光器

切割深宽

切割深度：20~40um 切割宽度8~15um

冷却方式

封闭式循环水冷

相机类型

数字黑白相机

观察系统

同轴影像观察系统

对焦方式

自动对焦

设备尺寸

1920x2200x2000mm

设备重量

 5000kg