以光学技术为核心的智能装备企业!
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以光学技术为核心的智能装备企业!
晶 圆 切 割 道 缺 陷 AOl 检 测 设 备
产品特点
规格参数
1、高分辨率显微镜光学系统
2
、明场暗场光学检测;兼容双面快速检测
3
、高精度XYR精密平台
4
、Magazine 上料方式;MAPPING图输出
5、可拓展3D测量模块,红外测量模块