1 | OO 级大理石底座、横梁,设备整体精度高、稳定性好; |
2 | 高精度大导程研磨丝杆、高精度线性导轨; |
3 | 固定龙门式双工位结构设计,操作方便,效率高; |
4 | 伺服电机驱动控制让运动更快速、定位更准确; |
5 | 配套共焦光谱传感器,满足高度及平面度测试需求; |
6 | 强大的图像处理算法可以快速的处理图像、输出结果。 |
型 号 | 外形尺寸 (mm) | 整机重量 (kg) | 玻璃台承重 (kg) | 仪器电源/气源 |
UNG-MIX-651 | 1150*1200*1550 | 500 | 5 | 220V(AC)50HZ/0.8MPa |
工作台 | 工作台尺寸 (mm) | 390*230 | 玻璃台尺寸 (mm) | 230*190 |
运动行程 (mm) | X:500 Y:600 | 运动行程 (mm) | (Z1轴光)50mm;(Z2轴影像)100mm,(Z axis) | |
光学系统 | 高分辨率CCD | |||
高清远心镜头 工作距:178mm | ||||
视频放大倍率:0.2X 显示分辨率:0.001mm | ||||
激光系统 | 共焦位移传感器 | |||
最大角度:±29.6° | ||||
最大量程:2.1mm | ||||
光斑直径:8.1μm | ||||
检测精度(um) | ≤10μm | |||
定位精度 | 0.02mm | |||
重复定位精度 | 0.003mm | |||
检测时间CT | 15s/pcs | |||
GRR | 20% | |||
照明系统 | 高亮线平行光,亮度均可程控调节 | |||
传感器 | 影像及共焦光谱位移传感器 |